钨沉积用的气体是六氟化钨，容易残留氟原子，🍬🈺会腐蚀芯片的介电➿层，导致漏电。
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钨沉积用的气体是六氟化钨，容易残留氟原子，🍬🈺会腐蚀芯片的介电➿层，导致漏电。
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发表 : AdminMLWS
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